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        CIF掃描電鏡等離子清洗機

          CIF 掃描電鏡(SEM)等離子清洗機采用遠程、原位雙等離子清洗源設計,并可自動切換,一機多用。遠程等離子體清洗快速高效低轟擊損傷,同時可實現常規等離子清洗。主要用于SEM或FIB等電鏡腔體內碳氫化合物的清洗。

          更新時間:2023-06-27 15:58:59
        1. 詳細信息

        0609_遠程等離子.jpg

        產品特點

        v?雙等離子清洗源

        v?一機多用

        v?高效低損傷

        ?

        技術參數

        產品型號

        CIF-SEM

        法蘭接口

        KF40CF40

        工作氣壓

        0.3-3Pa

        等離子電源

        13.56MHz射頻電源,射頻功率5-150W可調,


        遠程等離子源,自動匹配器

        氣體控制

        標配單路質量流量計(MFC)可選雙路。50毫升/分,自動控制氣體流量,不會受環境溫度和壓力變化影響

        氣源選擇

        根據需求氧氣、氬氣、氮氣、氫氣等多種清洗氣源選擇

        真空控制

        美國MKS公司925-12010皮拉尼真空計,測量范圍1E-5Torr

        真空保證

        真空計和電磁閥安全互鎖

        操控方式

        7寸全彩觸摸屏控制,中英文互動操作界面

        電源/功率

        220V,50/60Hz,300W

        可選配件

        可選氧氣、氮氣、氫氣發生器,?氫氣純度﹥99.999%,輸出流量0-300ml/min?

        質量保證

        二年質保,終身維護

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